全自动二次元测量仪

X、Y轴测量精度(μm):3+L/200

Z轴测量精度(μm):5+L/200

重复精度（mm）:0.002

运动速度(mm/s): XY轴=0~400    Z轴=0~100

光栅尺: 1.0μm分辩率开放式玻璃光栅尺

图像传感器CCD: SBK-HC536 700线工业彩色相机

视频采集卡：“大恒”高解晰度双路彩色视频卡

导轨: HIWIN SP级精密线性导轨

丝杆：TBI研磨滚珠丝杆

光学系统: 6.5:1连续变倍导航镜筒

放大倍率: 光学放大倍率:0.7-4.5X;影像放大倍率:24-158X

软件: SBK-CNC全自动测量软件

轮廓光源系统: LED冷光源,256级亮度程控可调

表面光源系统: 四环八区LED冷光源,各区独立操控,256级亮度程控可调

运动控制: SBK4000全闭环控制系统

电 机：TIGER交流同步伺服电机

操作方式: 软件+摇杆

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